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季华实验室一期计划明年6月建成投入使用



佛山电台    2019-09-04 11:05:50




半导体集成电路零部件产业佛山峰会昨日召开。

 

集成电路产业技术创新联盟理事长、季华实验室理事长兼主任曹健林表示,季华实验室一期计划20206月建成投入使用,目前正在研制适用于半导体生产的等离子刻蚀以及薄膜工艺的大功率脉冲射频电源及微波电源,希望把佛山发展成为中国最重要的半导体集成电路零部件产业生产基地。

 

佛山市副市长许国表示,将全力推进季华实验室建设,推动基础研究、应用研究和产业化工程发展,使之成为汇聚全球科技资源和智力资源的科技创新战略高地。

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